奥普光电:公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标理论上可以应用到芯片制造和封装的测量辅助系统

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问公司的光栅尺精度能达到多少,理论上能应用到芯片制造和封装的测量辅助系统吗?

奥普光电(002338.SZ)8月30日在投资者互动平台表示,公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标,指标为±3μm/m等级,实际可达到±2μm/m以内,理论上可以应用到芯片制造和封装的测量辅助系统。

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